SEMI(半导体设备与材料的国际性组织)是半导体工业的全球执行联盟,SEMI之下的安全工作小组为了降低机械危害的风险,制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的全球性标准和法规,成为半导体业界对设备系统的的规格要求。主要为半导体制程设备提供一套实用的、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等, 环境• 健康• 安全(EHS) 由S系列规定。
SEMI S2——半导体工业的全球标准
SEMI S2是针对制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准,符合SEMI S2不仅符合了国际相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。
SEMI S2涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件。具体说来,SEMI S2涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域。所有测试及技术支持都在本地完成,可以时间响应客户的要求。
SEMI认证流程:
1. 客户递交技术资料和认证申请
2. 项目经理和工程师确认标准,报价
3. 客户准备资料,样品及测试费用
4. 工程师收到样品后准备测试计划
5. 测试,如不通过则进行产品修改
6. 审核
7. 出具证书
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